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UV真空镀膜形成与运行原理

作者: 来源: 日期:2017/11/15 人气:2440
  UV真空镀膜是目前真空状态下应用广泛的真空设备。它通常由真空室、真空装置和电气控制柜组成。排气系统由三部分组成:扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+ polycold构成.下面,详细描述真空镀膜机的各部分。
  UV真空镀膜形成与运行原理。
  首先,真空本体真空腔根据加工产品的要求不同,真腔的大小也不一样,现在使用最多的直径1.3m、0.9m,1.5m、1.8m、等等,型腔采用不锈钢材料制作,要求不生锈,要坚强真空室的每个部分都有连接阀,用来连接每个抽油机。
  二、辅助抽气系统:排气系统是镀膜机真空系统的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要介绍罗瓷琣)、油扩散泵三大部分组成。排气系统采用“分散泵+机械泵+罗茨泵”。
  UV真空镀膜低温冷阱+ polycold组成。
  UV真空镀膜排气流程如下:首先泵机械泵真空腔的低真空状态低于2×10-2Pa,然后供应真空泵为分散泵。当泵泵出真腔时,机械泵与油分散泵配合形成一系列。这就是结束抽水行动的方法。
  机械泵:也叫前泵,机械泵在低真空泵应用最为广泛,它是保持油的密封效果,并依靠机械的方法不断改变吸气腔容积泵,使气体在容器的容量不断扩大获得真空。
  机械泵的分类1:机械泵有很多种,常用的有滑块(主要使用的大型设备)、活塞往复式、旋叶式和定子式(这是目前应用最为广泛的,本文主要介绍四种类型)。
  2。机械泵是从大气中启动的,其主要参数是极限真空度、泵速,这是机械泵规划选型的重要依据。单级泵的容器从空气到1×10-1Pa极限真空,和双级机械泵足以泵容器大气中的6.7×10-2瓦,甚至更高。
  抽气率是旋转叶片泵按附加转速运行时单位时间内排出的气体体积。这可以通过以下公式计算:某事2nvs = 2nfsl FS表明时空段的腔后抽吸完毕,我显示的腔长度的系数表明,空腔长度等于谐振腔长度每个转子每周旋转两次,VS显示当转子处于水平位置时,吸入完成。此时,空腔内的体积大,速度为N。
  机械泵排气的影响也与电机转速和皮带紧度有关。当电机皮带松动时,电机转速很慢,机械泵的排气效果也会变差,所以有必要经常维护、抽查、机械泵油密度。密封效果也需要经常检查,油量太少,达不到密封效果,泵会漏油,过多的油,吸入孔堵塞,无法吸入和排出,通常在油位在线0.5厘米即可。
  3.UV真空镀膜经常用来去除钻孔中的空气,但不能去除含氧量过高、易爆和腐蚀性气体,机械泵通常用来去除气体,但水蒸气却没有很好的效果,所以不能去除水。


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